CIF透射电镜TEM等离子清洗机|等离子表面处理设备CIF-TEM
详细信息
| | 加工定制：是 | | 品牌：CIF | | 型号：CIF-TEM | |
| | 用途：工业用 | | 工作频率：13.56MHz | | 工作电压：220 v | |
| | 功率：- w | | | | | |
产品型号：
CIF-TEM
一、应用领域
等离子清洗设备广泛应用于材料学、微电子、半导体、新能源、线路板、LED、微流控、光电太阳能、生物医学等领域，主要用于材料表面进行清洗、改性、刻蚀等目的。
二、设备特点
- 远程离子清洗源
- 一机多用
- 清洗高效快速，低轰击损伤
三、设备参数
| 产品型号 |
CIF-TEM |
| 等离子电源 |
13.56MHz等离子射频电源，射频功率5-150W可调 |
| 远程等离子源，自动匹配器 |
| 清洗室 |
清洗室尺寸Ø180xH100mm |
| 清洗数量 |
可同时清洗3支TEM样品杆 |
| 适配品牌 |
美国THERMO FISHER（FEI）、日本日立（HITACHI）、日本电子（JEOL） |
| 气体控制 |
标配单路质量流量计（MFC）可选双路。0-500sccm，自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响 |
| 气源选择 |
根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择 |
| 真空控制 |
皮拉尼真空计，测量范围1.0E-5Pa~1E+5Pa |
| 真空保证 |
真空计和电磁阀安全互锁 |
| 操控方式 |
7寸全彩触摸屏控制，中英文互动操作界面 |
| 真空泵 |
前级泵 |
| 抽气速率2.5 m³/h |
| 分子泵 |
| 极限真空：LF<8*10-6Pa，CF<8*10-7Pa |
| 分子泵抽速 85L/s（N2） |
| 入口法兰：DN63 ISO-K(LF)/ CF |
| 质量保证 |
二年质保，终身维护 |
| 电 源 |
AC220V、50/60Hz，300W |
| 产品尺寸 |
L565xW505xH560mm |
| 包装尺寸 |
L715xW655xH820mm |
| 整机重量 |
68kg |
￥面议
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