• CIF紫外臭氧清洗机/表面清洗设备UVO-5/9/13

    详细信息

     品牌:CIF  型号:UVO-5/9/13  加工定制:是  
     托盘高度调整范围:0-50mm  主要波长:185/254 nm  
    产品型号:
    UVO-5/9/13
    紫外臭氧清洗机(UVO),是一种简单,经济,快速高效的材料表面清洗设备,能快速去除大多数无机基材(比如石英,硅片,金,镍,铝,砷化镓,氧化铝等)上的有机污染物。CIF推出的紫外臭氧清洗机系列产品采用长寿命UV石英低压汞蒸汽格栅灯,样品台高度可调,可选加热控温,以便达到良好清洗效果。
    一、紫外臭氧清洗机原理
    通过紫外灯发出适当强度的185nm254nm波长高能紫外线破坏有物分子(污染物)185nm波长紫外光的光能量能将空气中的氧气(O2)分解成臭氧(O3),而254nm波长的紫外光的光能量能将O3分解成O2和原子氧(O)  254 nm紫外线同时激发表面的有机物分子,提高其敏感性,可以被臭氧分子团破坏。在连续进行的光敏氧化反应中,生成的活性原子氧(O)与活化了的有机物(即碳氢化合物)分子发生氧化反应,生成挥发性气体(CO2CO, H2O,NO)逸出材料表面,从而清除粘附在材料表面上的碳和有机污染物,达到清洗的目的。
    应用领域
    石英/玻璃制品的表面清洗:液晶面板,等离子电视屏幕,彩色过滤片,光罩,棱镜,透镜,反射镜,平板电视等。
    微电子产品的表面清洗:微型马达轴,磁头驱动架,光盘,光电器件,手机摄像头,微型喇叭/受话器震膜,半导体硅片,掩膜版。
    精密集成电路的表面清洗:液晶显示器ITO,精密电路板,软性电路板接头,BGA基板的清洗,COG的清洗,COF(ILB)接合面的清洗,薄膜基板的清洗,金属基板的清洗,BGA基板与粘结垫的清洗。
    在胶粘接或是印刷之前,对高分子聚合制品的表面改性:橡胶粘接,塑料汽车部件,透镜保护膜,塑料薄膜,树脂成型空气袋,IC包装,注射针接合部分的表面性,介入导管的表面改型等。
    科研过程的表面清洗及处理:半导体,生物芯片,纳米材料,聚合物,光化学等。
    设备特点
    UVO基础型系列采用可编程数字控制器,设置操作简单方便,四键操作控制。UVOPUVOT系列采用5寸彩色触摸屏中英文互动操作界面,设置显示计时时间及加热温度。
    自动补偿功能,自动恒定光强光密度,不会因为低压汞灯老化光强衰减影响清洗效果。
    数字显示清洗时间,1-999分钟之间可自行设置清洗时间。
    任何时间可以手动中断处理过程。
    自动记录之前清洗参数设置。
    样品台可控温(可选),控温范围RT-200℃,控温精度0.1℃。
    顶置下压式铰链开关盖方式,操作简单方便。
    上置式样品台设计,360度自由放置样品,操作方便。
    样品台高度可调,通过调节灯与样品之间的间距,可以合理定位样品高度和位置,并可锁定。
    UV石英低压汞蒸汽格栅灯,灯管寿命大约为8000小时。
    高强度UV灯源,波长185nm254nm
    可累计计时UV格栅灯使用时长,更换提示。
    UV反射罩(长X宽)比UV格栅灯大25mm
    双重安全保护,带有安全锁,当清洗腔打开时,系统自动关掉UV灯,并有灯光通断提示。
    带进&出气口双气路设计。
    可接入氧气或者臭氧,增加臭氧产量。
    UVO5可选外置臭氧中和器,UVO9UVO13系列可选外置或者内置臭氧中和器,用于臭氧清除。
    可根据客户要求定制铝或石英材料真空反应腔。
    设备参数
    产品型号 UVO5/UVO5P
    /UVO5T
    UVO9/UVO9P
    /UVO9T
    UVO13/UVO13
    P/UVO13T
    UV灯尺寸 130x130mm 230x230mm 330x330mm
    样品台高度 0-50mm可调 0-50mm可调 0-50mm可调
       AC220V 50/60Hz
    140/190/690W
    AC220V 50/60Hz 140/190/690W AC220V 50/60Hz  140/190/1160W
    外型尺寸 L260xW320
    xH200mm
    L370xW470
    xH200mm
    L465xW575
    xH200mm
    包装尺寸 L375xW470
    xH390mm
    L490xW600
    xH320mm
    L575xW680
    xH320mm
    整机重量 8kg 15kg 18kg
     
    注:UVO型基础型样品台不带加热功能,样品台高度可调;UVOP可选配样品台加热功能,样品台高度可调;UVOT标配样品台加热功能,样品台高度可调。可选臭氧中和装置。
     
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