CIF紫外臭氧清洗机/表面清洗设备UVO-5/9/13
详细信息
| 品牌:CIF | | 型号:UVO-5/9/13 | | 加工定制:是 | |
| 托盘高度调整范围:0-50mm | | 主要波长:185/254 nm | | | |
产品型号:
UVO-5/9/13
紫外臭氧清洗机(UVO),是一种简单,经济,快速高效的材料表面清洗设备,能快速去除大多数无机基材(比如石英,硅片,金,镍,铝,砷化镓,氧化铝等)上的有机污染物。CIF推出的紫外臭氧清洗机系列产品采用长寿命UV石英低压汞蒸汽格栅灯,样品台高度可调,可选加热控温,以便达到良好清洗效果。
一、紫外臭氧清洗机原理
通过紫外灯发出适当强度的185nm和254nm波长高能紫外线破坏有物分子(污染物)。185nm波长紫外光的光能量能将空气中的氧气(O2)分解成臭氧(O3),而254nm波长的紫外光的光能量能将O3分解成O2和原子氧(O), 254 nm紫外线同时激发表面的有机物分子,提高其敏感性,可以被臭氧分子团破坏。在连续进行的光敏氧化反应中,生成的活性原子氧(O)与活化了的有机物(即碳氢化合物)分子发生氧化反应,生成挥发性气体(如CO2,CO, H2O,NO等)逸出材料表面,从而清除粘附在材料表面上的碳和有机污染物,达到清洗的目的。
二、应用领域
u 石英/玻璃制品的表面清洗:液晶面板,等离子电视屏幕,彩色过滤片,光罩,棱镜,透镜,反射镜,平板电视等。
u 微电子产品的表面清洗:微型马达轴,磁头驱动架,光盘,光电器件,手机摄像头,微型喇叭/受话器震膜,半导体硅片,掩膜版。
u 精密集成电路的表面清洗:液晶显示器ITO,精密电路板,软性电路板接头,BGA基板的清洗,COG的清洗,COF(ILB)接合面的清洗,薄膜基板的清洗,金属基板的清洗,BGA基板与粘结垫的清洗。
u 在胶粘接或是印刷之前,对高分子聚合制品的表面改性:橡胶粘接,塑料汽车部件,透镜保护膜,塑料薄膜,树脂成型空气袋,IC包装,注射针接合部分的表面性,介入导管的表面改型等。
u 科研过程的表面清洗及处理:半导体,生物芯片,纳米材料,聚合物,光化学等。
三、设备特点
u UVO基础型系列采用可编程数字控制器,设置操作简单方便,四键操作控制。UVOP、UVOT系列采用5寸彩色触摸屏中英文互动操作界面,设置显示计时时间及加热温度。
u 自动补偿功能,自动恒定光强光密度,不会因为低压汞灯老化光强衰减影响清洗效果。
u 数字显示清洗时间,1-999分钟之间可自行设置清洗时间。
u 任何时间可以手动中断处理过程。
u 自动记录之前清洗参数设置。
u 样品台可控温(可选),控温范围RT-200℃,控温精度0.1℃。
u 顶置下压式铰链开关盖方式,操作简单方便。
u 上置式样品台设计,360度自由放置样品,操作方便。
u 样品台高度可调,通过调节灯与样品之间的间距,可以合理定位样品高度和位置,并可锁定。
u UV石英低压汞蒸汽格栅灯,灯管寿命大约为8000小时。
u 高强度UV灯源,波长185nm和254nm。
u 可累计计时UV格栅灯使用时长,更换提示。
u UV反射罩(长X宽)比UV格栅灯大25mm。
u 双重安全保护,带有安全锁,当清洗腔打开时,系统自动关掉UV灯,并有灯光通断提示。
u 带进&出气口双气路设计。
u 可接入氧气或者臭氧,增加臭氧产量。
u UVO5可选外置臭氧中和器,UVO9、UVO13系列可选外置或者内置臭氧中和器,用于臭氧清除。
u 可根据客户要求定制铝或石英材料真空反应腔。
四、设备参数
产品型号 |
UVO5/UVO5P
/UVO5T |
UVO9/UVO9P
/UVO9T |
UVO13/UVO13
P/UVO13T |
UV灯尺寸 |
130x130mm |
230x230mm |
330x330mm |
样品台高度 |
0-50mm可调 |
0-50mm可调 |
0-50mm可调 |
电 源 |
AC220V 50/60Hz
140/190/690W |
AC220V 50/60Hz 140/190/690W |
AC220V 50/60Hz 140/190/1160W |
外型尺寸 |
L260xW320
xH200mm |
L370xW470
xH200mm |
L465xW575
xH200mm |
包装尺寸 |
L375xW470
xH390mm |
L490xW600
xH320mm |
L575xW680
xH320mm |
整机重量 |
8kg |
15kg |
18kg |
注:UVO型基础型样品台不带加热功能,样品台高度可调;UVOP可选配样品台加热功能,样品台高度可调;UVOT标配样品台加热功能,样品台高度可调。可选臭氧中和装置。