CIF实验室型等离子清洗机|真空等离子表面处理|表面键合刻蚀
详细信息
| | 加工定制：是 | | 品牌：CIF | | 型号：CPC-FMplus | |
| | 用途：工业用 | | 工作频率：13.56MHz | | 工作电压：220 v | |
| | 功率：0-150 W无极可调 w | | | | | |
产品型号：
CPC-FMplus
一、应用领域
等离子清洗设备广泛应用于材料学、微电子、半导体、新能源、线路板、LED、微流控、光电太阳能、生物医学等领域，主要用于材料表面进行清洗、改性、刻蚀等目的。
二、设备特点
- 7寸彩色触摸屏中英文互动操作界面，自动控制监测工艺参数状态，20个配方程序，工艺数据可存储追溯。
- PLC控制整个清洗过程，全自动清洗。
- 采用美国德威尔（Dwyer）气体浮子流量计或质量流量计(CPC-FM)，可输入氧气、氩气、氮气、氢气或混合气等气体，气体控制良好。
- 气体返填吹扫，HEPA高效过滤，防止二次污染。
- 316不锈钢、石英真空舱可选择，全真空管路系统采用316不锈钢材质，耐腐蚀无污染。
- 内凹式前面板设计，有效保护流量计和舱门不易损坏。
- 处理快速高效均匀，无污染，工艺重复性好。
三、设备参数
- 发生器频率：13.56 MHz
- 功率：0-150 W无极可调
- 匹配器：自动匹配
- 激发方式：电感式或电感耦合（可选）
- 气体控制：质量流量计（MFC）或浮子流量计（可选）
- 舱体尺寸：D200xΦ155 mm
- 舱体材质：不锈钢或石英玻璃
- 舱体容积：3.8-5 L
- 有效处理尺寸：L200xW155 mm
- 时间设定：9999秒
- 真空泵：抽速4 m³/h
- 气体稳定时间：1分钟
- 真空度：100 pa以内
- 电源：AC220 V 50/60 Hz 766/316 W
- 产品尺寸：L440xW410xH455 mm
- 包装尺寸：L560xW560xH685 mm
- 整机重量：32 kg
￥面议
￥面议
￥面议
￥面议
￥面议
