CIF40KHz/13.56MHz手套箱专用等离子清洗设备VGB3/VGB3Plus
详细信息
| | 品牌：CIF | | 型号：VGB3/VGB3Plus | | 加工定制：是 | |
| | 外形尺寸：L235xW345xH245 mm | | | | | |
产品型号：
VGB3/VGB3Plus
VGB系列手套箱专用等离子清洗设备，优化的腔体结构及合理的结构设计更适合手套箱内使用。安装简单方便，性能稳定，实用性强，容易维护。
一、应用领域
等离子清洗设备广泛应用于材料学、微电子、半导体、新能源、线路板、LED、微流控、光电太阳能、生物医学等领域，主要用于材料表面进行清洗、改性、刻蚀等目的。
二、技术参数
| 型号 |
VGB3 |
VGB3Plus |
| 舱体尺寸 |
D200XΦ155mm |
D200XΦ155mm |
| 舱体容积 |
3.8L |
3.8L |
| 舱体材质 |
不锈钢 |
不锈钢 |
| 射频电源 |
40KHz |
13.56MHz |
| 匹配器 |
自动匹配 |
自动匹配 |
| 激发方式 |
电容式或电感 |
电容式 |
| 射频功率 |
0-500W可调 |
0-150W可调 |
| 气体控制 |
双浮子流量计（标配） |
| 有效处理尺寸 |
L200xW155mm |
| 时间设定 |
9999秒 |
| 真空泵 |
抽速4m³/h |
| 气体稳定时间 |
1分钟 |
| 真空度 |
100pa以内 |
| 电 源 |
AC220V 50/60Hz 666/316W |
| 舱体尺寸 |
L235xW345xH245mm |
| 控制尺寸 |
L330xW490xH190mm |
| 包装尺寸 |
L450xW640xH690mm |
| 整机重量 |
25kg |
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