CIF扫描电镜SEM等离子清洗机|表面处理设备CIF-SEM
详细信息
| | 加工定制：是 | | 品牌：CIF | | 型号：CIF-SEM | |
| | 用途：工业用 | | 工作频率：13.56MHz | | 工作电压：220 v | |
| | 功率：5-150 w | | | | | |
产品型号：
CIF-SEM
CIF 扫描电镜（SEM）等离子清洗机采用远程等离子清洗源设计，清洗快速、高效、低轰击损伤，主要用于SEM或FIB等腔体内碳氢化合物的清洗。与国内外厂商电镜配套使用。
一、应用领域
等离子清洗设备广泛应用于材料学、微电子、半导体、新能源、线路板、LED、微流控、光电太阳能、生物医学等领域，主要用于材料表面进行清洗、改性、刻蚀等目的。
二、设备特点
- 远程等离子清洗源
- 清洗快速、高效
- 低轰击损伤
三、设备参数
| 产品型号 |
CIF-SEM |
| 法兰接口 |
KF40（CF40） |
| 工作气压 |
0.3-3Pa |
| 等离子电源 |
13.56MHz射频电源，射频功率5-150W可调 |
| 远程等离子源，自动匹配器 |
| 气体控制 |
标配单路质量流量计（MFC）可选双路。0-500sccm，自动控制气体流量，不会受环境温度和压力变化影响 |
| 气源选择 |
根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择 |
| 真空保证 |
真空计和电磁阀安全互锁 |
| 操控方式 |
7寸全彩触摸屏控制，中英文互动操作界面 |
| 电源/功率 |
AC220V，50/60Hz，320W |
| 可选配件 |
可选氧气、氮气、氢气发生器， 氢气纯度﹥99.999％，输出流量0-500SCCM |
| 质量保证 |
二年质保，终身维护 |
| 产品尺寸 |
L320xW385xH465mm |
| 包装尺寸 |
L440xW535xH725mm |
| 整机重量 |
25kg |
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