CIF中试生产型等离子清洗机|真空等离子表面处理
详细信息
| | 加工定制：是 | | 品牌：CIF | | 型号：CPC-15/35/80/120/150 | |
| | 用途：工业用 | | 工作频率：13.56MHz/40KHz | | 工作电压：220 v | |
| | 功率：0-1000 w | | | | | |
产品型号：
CPC-15/35/80/120/150
一、应用领域
等离子清洗设备广泛应用于材料学、微电子、半导体、新能源、线路板、LED、微流控、光电太阳能、生物医学等领域，主要用于材料表面进行清洗、改性、刻蚀等目的。
CPC系列等离子清洗机是为中试客户和工业级客户而设计的等离子体表面处理设备。配置丰富，且真空腔体里可分层，适合大多数生产场景清洗，活化、刻蚀等应用。设备可在严苛环境下稳定运行，产品性能稳定，样品处理重复性、一致性好。
二、设备特点
- 7寸彩色触摸屏中英文互动操作界面，自动监测工艺参数状态，20个配方程序，可存储、输出、追溯工艺数据。
- PLC工控机控制整个清洗过程，手动、自动两种工作模式。
- 采用质量流量计，气体流量控制更准确。标配双路气体输送系统，可选多气路气体输送系统。可输入氧气、氩气、氮气、四氟化碳、氢气或混合气体等气体。
- 采用多孔道进气方式，改变传统等离子清洗机单孔进气不均匀问题。
- HEPA高效过滤，气体返填吹扫，防止二次污染。
- 316不锈钢真空舱，洁净无污染。
- 全真空管路系统采用316不锈钢材质。
- 处理高效均匀，效率高，工艺重复性好。
- 合理的结构设计，设备占用空间小。
- 可处理各种材质、形状、尺寸样品。
- 样品处理温度低，无热损伤和热氧化。
- 使用成本低、耗损小。
- 产品性能稳定，安装维护，简单方便。
- 安全保护，舱门打开，自动关闭电源。
三、设备参数
| 型号 |
CPC15 |
CPC35 |
CPC80 |
CPC120 |
CPC150 |
| 舱体尺寸 |
W240xH240
xD260mm |
W320xH320
xD350mm |
W420xH400
xD500mm |
W500xH500
xD450mm |
W500xH500
xD600mm |
| 舱体容积 |
15L |
35L |
80L |
120L |
150L |
| 舱体材质 |
不锈钢 |
不锈钢 |
不锈钢 |
不锈钢 |
不锈钢 |
| 处理尺寸 |
W240x
D220mm |
W320x
D320mm |
W420x
D470mm |
W500x
D420mm |
W500x
D570mm |
| 电极分布 |
2层 |
3-4层 |
6层 |
8-10层 |
10-15层 |
| 射频电源 |
13.56MHz |
13.56MHz |
13.56MHz |
13.56MHz |
13.56MHz |
| 射频功率 |
0-300W |
0-300W |
0-600W |
0-1000W |
0-1000W |
| 匹配器 |
自动匹配器 |
| 激发方式 |
电容式 |
| 电 流 |
1.2A |
| 时间设定 |
9999秒 |
| 气体稳定时间 |
1分钟 |
| 真空度 |
100pa以内 |
| 控制系统 |
7寸PLC触摸屏控制 |
| 工艺气体 |
2气路 MFC（可选装3路） |
| 产品尺寸 |
L625xW600
xH760mm |
L625xW600
xH805mm |
L905xW845
xH1940mm |
L625xW600
xH760mm |
L905xW845
xH2010mm |
| 包装尺寸 |
L740xW775
xH1000mm |
L740xW775
xH1045mm |
L1015xW1065
xH2050mm |
L1015xW1065
xH2120mm |
L1015xW1065
xH2120mm |
| 真空泵 |
抽速约8m³/h |
抽速16m³/h |
抽速40m³/h |
抽速60m³/h |
抽速约60m³/h |
| 电 源 |
AC220V
50/60Hz
552W |
AC220V
50/60Hz
552W |
AC380V
50/60Hz
902W |
AC380V
50/60Hz
1302W |
AC380V
50/60Hz
1302W |
| 整机重量 |
108kg |
135kg |
465kg |
485kg |
575kg |
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