• CIF实验室等离子清洗机表面处理设备亲水涂层CPC-F

    详细信息

     加工定制:是  品牌:CIF  型号:CPC-F  
     用途:工业用  工作频率:13.56Mhz  工作电压:220 v 
     功率:150 w   
    一、应用领域:
    等离子清洗设备广泛应用于材料学、微电子、半导体、新能源、线路板、LED、微流控、光电太阳能、生物医学等领域,主要用于材料表面进行清洗、改性、刻蚀等目的。
    二、设备特点:
    1. 7寸彩色触摸屏中英文互动操作界面,自动控制监测工艺参数状态,20个配方程序,工艺数据可存储追溯。
    1. PLC控制整个清洗过程,全自动清洗。
    2. 采用美国德威尔(Dwyer)气体浮子流量计或质量流量计(CPC-FM),可输入氧气、氩气、氮气、氢气或混合气等气体,气体控制精准。
    3. 气体返填吹扫,HEPA高效过滤,防止二次污染。
    4. 316不锈钢、石英真空舱可选择,全真空管路系统采用316不锈钢材质,耐腐蚀无污染。
    5. 内凹式前面板设计,有效保护流量计和舱门不易损坏。
    6. 处理快速高效均匀,无污染,工艺重复性好。
    三、设备参数:
    1. 发生器频率:40 Khz
    2. 功率:0-300 W无极可调
    3. 匹配器:自动匹配
    4. 激发方式:电感式或电感耦合(可选)
    5. 气体控制:质量流量计(MFC)或浮子流量计(可选)
    6. 舱体尺寸:D200xΦ160 mm
    7. 舱体材质:不锈钢或石英玻璃
    8. 舱体容积:4 L
    9. 有效处理尺寸:L200xW160 mm
    10. 时间设定:9999
    11. 真空泵:抽速4 m³/h
    12. 气体稳定时间:1分钟
    13. 真空度:100 pa以内
    14. 电源:AC220 V 50/60 Hz  410/310 W
    15. 产品尺寸:L440xW410xH455 mm
    16. 包装尺寸:L580xW580xH695 mm
    17. 整机重量:32 kg
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