- 德国 Diener 等离子清洗机 FEMTO 精密型小型腔体2.2L
详细信息
加工定制:否 品牌:Diener 型号:FEMTO 用途:工业用 工作频率:13.56MHz 工作电压:220 v 功率:100 w 规格:FEMTO 腔体容积:2.2L 气体供应:单路/双路气体 腔体材质:不锈钢/高硼硅玻璃/石英 外尺寸:W310*D420*H330mm 操作方式:半自动/全自动 等离子清洗机FEMTO
等离子工艺除清洗与活化外,还具有蚀刻与涂层
的功能。可以应用于多种领域。- 硅蚀刻
- PTFE蚀刻
- 去除光刻胶
- 提高耐温塑料对于涂料和粘结剂的附着性
- 疏水层的沉积
- 亲水层的沉积
- 保护或绝缘层的沉积
- 防扩散层
主要技术参数:- 全自动控制
- *根据工艺要求不同,可设定功率、压强、气体流量,时间等参数
- 单路工作气体,气体流量通MFC流量计控制
- 反应舱为不锈钢,Ø100 mm*L278mm,容积约为2.2L
- 射频频率13.56MHz,功率0~100W
- 电极材质为铝/不锈钢
- 运行模式为手动
- 真空泵的排气能力为4m3/Hour,配有强制进气阀
- *配有压力传感器,可根据工艺要求设定压力值
- 外尺寸:W310*D420*H330mm
- 电源电压:单相AC230V 16A
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