• 德国 Diener 等离子清洗机 FEMTO 精密型小型腔体2.2L

    详细信息

     加工定制:否  品牌:Diener  型号:FEMTO  
     用途:工业用  工作频率:13.56MHz  工作电压:220 v 
     功率:100 w 规格:FEMTO  腔体容积:2.2L  
     气体供应:单路/双路气体  腔体材质:不锈钢/高硼硅玻璃/石英  外尺寸:W310*D420*H330mm  
     操作方式:半自动/全自动    
    等离子清洗机FEMTO
    等离子工艺除清洗与活化外,还具有蚀刻与涂层
    的功能。可以应用于多种领域。
    • 硅蚀刻
    • PTFE蚀刻
    • 去除光刻胶
    • 提高耐温塑料对于涂料和粘结剂的附着性
    • 疏水层的沉积
    • 亲水层的沉积
    • 保护或绝缘层的沉积
    • 防扩散层



    主要技术参数:
    1. 全自动控制
    2. *根据工艺要求不同,可设定功率、压强、气体流量,时间等参数
    3. 单路工作气体,气体流量通MFC流量计控制
    4. 反应舱为不锈钢,Ø100 mm*L278mm,容积约为2.2L
    5. 射频频率13.56MHz,功率0~100W
    6. 电极材质为铝/不锈钢
    7. 运行模式为手动
    8. 真空泵的排气能力为4m3/Hour,配有强制进气阀
    9. *配有压力传感器,可根据工艺要求设定压力值
    10. 外尺寸:W310*D420*H330mm
    11. 电源电压:单相AC230V 16A
     
     
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